光谱平坦的热释电探测器用吸收层及其制备方法

摘要

本发明提供一种光谱平坦的热释电探测器用吸收层，按入射辐射的入射顺序依次包括镍铬合金层、镍金属薄膜和铬金属薄膜，本发明还提供一种所述吸收层的制备方法，包括步骤：1)在双面抛光的LiTaO₃晶片上制作光谱平坦的吸收层，2)清洗LiTaO₃晶片，在A面光刻图形化；3)在LiTaO₃晶片A面淀积铬金属薄膜和镍金属薄膜；4)在LiTaO₃晶片A面光刻图形化；5)在LiTaO₃晶片A面采用磁控溅射的工艺淀积镍铬合金层，6)在LiTaO₃晶片A面光刻图形化,形成刻蚀掩模；7)在LiTaO₃晶片A面采用氩离子刻蚀的工艺刻蚀出电极的形状结构及大小，本发明吸收层具有附着牢固、重复性好、吸收波段宽而平坦、吸收率高、比热容小、传热性能优良等优点，同时吸收层可兼做电极，适合作为热释电探测器的吸收层。

主权项

一种光谱平坦的热释电探测器用吸收层，其特征在于：按入射辐射的入射顺序，从上至下依次包括镍铬合金层(1)、镍金属薄膜(2)和铬金属薄膜(3)，其中：所述的铬镍合金层(1)厚度为7.5nm‑8.5nm，方块电阻为9.5Ω/□‑10.0Ω/□；所述的镍金属薄膜(2)膜厚为8nm‑10nm；所述的铬金属薄膜(3)膜厚为8nm‑10nm。