磨削装置

摘要

本发明提供一种磨削装置，其在同时保持多个被加工物进行磨削的情况下，能够使测针稳定接触被加工物的上表面并测量被加工物的厚度。磨削装置具有：保持单元，其具有保持被加工物(W)的保持面；磨削单元，其磨削保持于保持单元的被加工物(W)的背面(WR)；以及高度测定器(40)，其测定被磨削单元磨削的被加工物(W)的背面(WR)的高度。高度测定器(40)具有2个测针(43)，该2个测针(43)在被加工物(W)的背面(WR)上接触的接触点配设于同一高度位置处。2个测针(43)沿着保持单元的以旋转轴(A)为中心的圆周(C)上进行排列，并且以间隔(W1)大于相邻的被加工物(W)彼此在周向上的间隔(W2)的方式隔开配设。

主权项

一种磨削装置，其具有：保持单元，其具有保持被加工物的保持面；磨削单元，其对保持于该保持单元上的被加工物的上表面进行磨削；以及高度测定器，其对由该磨削单元进行了磨削后的被加工物的该上表面的高度进行测定，该磨削装置的特征在于，该保持单元具有保持多个被加工物并形成为尺寸大于被加工物的尺寸的保持面，且该保持单元能够以与该保持面正交并通过该保持面的中心的旋转轴为中心进行旋转，在该保持面上，在以该旋转轴为中心的圆周上，沿周向保持该多个被加工物，该高度测定器具有2个测针，该2个测针的与被加工物的上表面接触的接触点配设于同一高度位置处，该2个测针沿着以该保持单元的旋转轴为中心的该圆周进行排列，且以间隔大于相邻的被加工物彼此在周向上的间隔的方式隔开配设，在磨削多个被加工物时，在一个该测针位于该多个被加工物之间的情况下，另一个该测针与多个被加工物中的任意一个的上表面接触，始终测量被加工物的高度位置。