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发明名称 基板処理方法
摘要
申请公布号 JP5852927(B2) 申请公布日期 2016.02.03
申请号 JP20120144295 申请日期 2012.06.27
申请人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス 发明人 根来 世;永井 泰彦
分类号 H01L21/027;H01L21/304 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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