基于边缘积分的多维电子束能量密度的测定方法及系统

摘要

本发明提供一种基于边缘积分的多维电子束能量密度的测定方法及系统，该方法包括：波形发生器接收指令信号，根据指令信号输出波形，指令信号中预先设定了波形的偏转速率以及维度；偏转装置根据波形将被测电子装置输出的电子束进行偏转；屏蔽环屏蔽电子束；屏蔽环的孔填充的能量吸收部件吸收电子束；传感器感应通过环形沟槽的电子束，得到电子束的模拟电压信号，环形沟槽设置在屏蔽环上且与屏蔽环为同心圆；数据采集器采集模拟电压信号，得到离散电压信号，并将离散电压信号发送至数据处理系统；数据处理系统对所述的离散电压信号进行反演，得到电子束的三维重构图。实现了对大功率电子束束流及其他带电粒子的能量分布进行高精度测定。

主权项

一种基于边缘积分的多维电子束能量密度的测定系统，其特征是，所述的系统包括前向偏转系统、数据采集系统以及数据处理系统，其中，所述的前向偏转系统具体包括：波形发生器，用于接收指令信号，根据所述的指令信号输出波形，所述的指令信号中预先设定了波形的偏转速率以及维度；偏转装置，用于接收所述的波形，根据所述的波形将被测电子装置输出的电子束进行偏转；所述的数据采集系统具体包括：屏蔽装置、传感器以及数据采集器，所述的屏蔽装置具体包括：屏蔽环，用于屏蔽所述的电子束；所述屏蔽环的孔填充能量吸收部件，用于吸收所述的电子束；所述的屏蔽环上还设有与屏蔽环为同心圆的环形沟槽；所述的传感器，用于感应通过所述环形沟槽的电子束，得到所述电子束的模拟电压信号；所述的数据采集器，用于采集所述的模拟电压信号，得到离散电压信号，并将所述的离散电压信号发送至所述的数据处理系统；所述的数据处理系统，用于对所述的离散电压信号进行反演，得到所述电子束的三维重构图；所述的数据处理系统包括：多项式拟合装置，用于对所述的离散电压信号进行多项式拟合，得到边沿积分函数；微分装置，用于对所述的边沿积分函数进行微分，得到电子束能量分布函数；三维重构装置，用于根据所述的电子束能量分布函数进行三维重构，得到所述电子束的三维重构图。