首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
电浆蚀刻方法
摘要
明的课题是在于提供一种在电浆蚀刻磁性膜的电浆蚀刻方法中,不拘遮罩的开口尺寸,可取得所望的蚀刻深度之电浆蚀刻方法。
申请公布号
TW201604957
申请公布日期
2016.02.01
申请号
TW104135224
申请日期
2013.01.04
申请人
日立全球先端科技股份有限公司
发明人
阿部高广;山本直広;山田健太郎;须山淳;藤田大介
分类号
H01L21/3065(2006.01)
主分类号
H01L21/3065(2006.01)
代理机构
代理人
林志刚
主权项
一种电浆蚀刻方法,系以钽作为遮罩来电浆蚀刻磁性膜的电浆蚀刻方法,其特征系具有:第一工程,其系只使用氨气与氦气的混合气体来将前述磁性膜电浆蚀刻至所望的深度;及第二工程,其系于前述第一工程后,使用氨气与含有氧元素的气体的混合气体或氨气与含有氢氧基的气体的混合气体来电浆蚀刻前述被蚀刻至所望的深度的磁性膜。
地址
日本
您可能感兴趣的专利
移动通信方法、移动通信系统及接入实体
GRID HEAT SINK
一种用于刀式喷嘴的水平控制装置
远距离视频下的正面人体自动身份识别方法
N-芳基-3,4-二氢异喹啉盐及其作为制备杀螨和抗菌药物的应用
具有广告功能的干手器
益母草碱用于更年期病症医药用途
基于边缘和骨架信息的车辆阴影消除方法
告警分发系统及告警分发控制方法
一种调度方法
水底污泥的处理装置与方法
列车车厢铝合金板的制造方法
一种离心铸管机变径金属承口芯
类矩形多芯保偏光纤及其制作方法
焊接热影响部的韧性优异的钢材
不锈钢表面微弧清除氧化皮的方法
梯平台的装配构造及其梯子
揉压式按摩器
一种油炸锅的可旋转炸笼
一种碳氮预分离的曝气生物滤池装置及工艺