发明名称 三维波导元件
摘要 三维波导元件,包括第一基板、第二基板、第一讯号屏蔽部以及波导元件,第一基板具有第一表面与第二表面,第一表面形成有第一金属层,第二表面形成有第二金属层,第二基板具有第一表面与第二表面,第一表面形成有第三金属层,第二表面上形成有第四金属层,其中第二金属层中形成一第一槽孔,第三金属层中形成一第二槽孔,第二槽孔系对应于第一槽孔,第一讯号屏蔽部配置于第一槽孔与第二槽孔之周围,且第一讯号屏蔽部分别连接第一金属层与一第二金属层,波导元件使第一讯号屏蔽部环绕或附着于波导元件周边。
申请公布号 TWI520289 申请公布日期 2016.02.01
申请号 TW101151205 申请日期 2012.12.28
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 蔡承桦;张立奇;陈韦廷;陈盟升
分类号 H01L23/488(2006.01);H01L23/049(2006.01) 主分类号 H01L23/488(2006.01)
代理机构 代理人 许世正
主权项 一种三维波导元件,其包括:一第一基板,该第一基板具有一第一表面与一第二表面,该第一表面形成有一第一金属层,该第二表面上形成有一第二金属层,该第二金属层中形成一第一槽孔;一第二基板,该第二基板具有一第一表面与一第二表面,该第一表面形成有一第三金属层,该第二表面上形成有一第四金属层,该第三金属层中形成一第二槽孔,该第二槽孔系对应于该第一槽孔;一第一讯号屏蔽部,配置于该第一槽孔与该第二槽孔之周围,且该第一讯号屏蔽部分别连接该第二金属层与该第三金属层,该第一讯号屏蔽部之材料系为金属或导电高分子材料,该第一讯号屏蔽部包括有复数个导电元件,其中每一该导电元件相互间隔一预定距离;以及一波导元件,使该第一讯号屏蔽部环绕于该波导元件周边。
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号