发明名称 |
三维波导元件 |
摘要 |
三维波导元件,包括第一基板、第二基板、第一讯号屏蔽部以及波导元件,第一基板具有第一表面与第二表面,第一表面形成有第一金属层,第二表面形成有第二金属层,第二基板具有第一表面与第二表面,第一表面形成有第三金属层,第二表面上形成有第四金属层,其中第二金属层中形成一第一槽孔,第三金属层中形成一第二槽孔,第二槽孔系对应于第一槽孔,第一讯号屏蔽部配置于第一槽孔与第二槽孔之周围,且第一讯号屏蔽部分别连接第一金属层与一第二金属层,波导元件使第一讯号屏蔽部环绕或附着于波导元件周边。
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申请公布号 |
TWI520289 |
申请公布日期 |
2016.02.01 |
申请号 |
TW101151205 |
申请日期 |
2012.12.28 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
蔡承桦;张立奇;陈韦廷;陈盟升 |
分类号 |
H01L23/488(2006.01);H01L23/049(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/488(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
许世正 |
主权项 |
一种三维波导元件,其包括:一第一基板,该第一基板具有一第一表面与一第二表面,该第一表面形成有一第一金属层,该第二表面上形成有一第二金属层,该第二金属层中形成一第一槽孔;一第二基板,该第二基板具有一第一表面与一第二表面,该第一表面形成有一第三金属层,该第二表面上形成有一第四金属层,该第三金属层中形成一第二槽孔,该第二槽孔系对应于该第一槽孔;一第一讯号屏蔽部,配置于该第一槽孔与该第二槽孔之周围,且该第一讯号屏蔽部分别连接该第二金属层与该第三金属层,该第一讯号屏蔽部之材料系为金属或导电高分子材料,该第一讯号屏蔽部包括有复数个导电元件,其中每一该导电元件相互间隔一预定距离;以及一波导元件,使该第一讯号屏蔽部环绕于该波导元件周边。
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地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |