| 摘要 |
<p>Messverfahren für eine asphärische Oberfläche zum Messen eines Profils einer asphärischen Messobjektfläche (11a) unter Verwendung der Ausgabe eines Lichtempfangssensors (8), in den über ein optisches System (4, 5, 7) Messlicht eingeleitet wird, welches auf die asphärische Messobjektfläche projiziert und von dieser reflektiert wird, gekennzeichnet durch: einen Schritt (A-1) des Bereitstellens einer asphärischen Referenzfläche (10a), deren Profil vermessen wurde; einen Schritt (B-2) des Messens einer ersten Wellenfront (Wm) eines Referenzlichts am Lichtempfangssensor unter Verwendung der Ausgabe des Lichtempfangssensors, wobei das Referenzlicht auf die asphärische Referenzfläche projiziert und von dieser reflektiert sowie über das optische System in den Lichtempfangssensor eingeleitet wird; einen Schritt (A-2) des Berechnens einer zweiten Wellenfront (Wcal) des Referenzlichts am Lichtempfangssensor unter Verwendung von Parametern des optischen Systems; einen Parameter-Änderungsschritt (B-5) des Änderns wenigstens eines Parameters der Parameter des optischen Systems in Bezug auf einen für die Berechnung verwendeten Wert derart, dass eine Differenz zwischen rotationssymmetrischen Komponenten der ersten und der zweiten Wellenfront kleiner wird als vor der Parameteränderung; einen Schritt (B-6) des Berechnens, unter Verwendung des geänderten Parameters, mindestens einer Vergrößerungsverteilung von (a) einer Positionsvergrößerungsverteilung, welche eine Positionsbeziehung von Strahlen des Referenzlichts zeigt, zwischen Positionen auf dem Lichtempfangssensor und auf einer konjugierten Sensorfläche mit einer konjugierten Beziehung zum Lichtempfangssensor, die durch das optische System geschaffen wird, oder (b) einer Winkelvergrößerungsverteilung, welche eine Winkelbeziehung der Strahlen des Referenzlichts zwischen Winkeln auf dem Lichtempfangssensor und auf der konjugierten Sensorfläche zeigt; einen Schritt (C-2) des Messens einer ersten Strahlwinkelverteilung (V1), bei der es sich um eine Winkelverteilung der Strahlen des Referenzlichts handelt, wozu die Ausgabe vom Lichtempfangssensor verwendet wird; einen Schritt (C-4) des Messens einer zweiten Strahlwinkelverteilung (V2), bei der es sich um eine Winkelverteilung von Strahlen des Messlichts handelt, wozu die Ausgabe vom Lichtempfangssensor verwendet wird; und einen Schritt (D-5) des Berechnens des Profils der asphärischen Messobjektfläche unter Verwendung des Profils der asphärischen Referenzfläche, der ersten Strahlwinkelverteilung, der zweiten Strahlwinkelverteilung und der mindestens einen Vergrößerungsverteilung.</p> |
