| 发明名称 | 一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，包括以下步骤：1）清洗基底表面；2）采用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层氧化锌种子层；3）在基底上采用水热法生长氧化锌纳米线阵列；4）再将基底清洗并干燥后，形成棒状氧化锌纳米线阵列；5）采用原子层沉积工艺在基底表面再沉积一层氧化锌种子层；6）重复步骤3）-4），形成树枝状的氧化锌纳米线阵列。本发明提供的一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，制备温度低，纳米树枝结构均匀性好、致密性好，适用于非平面或具备复杂结构的基底，简单可行。 | ||
| 申请公布号 | CN105271361A | 申请公布日期 | 2016.01.27 |
| 申请号 | CN201510713929.3 | 申请日期 | 2015.10.28 |
| 申请人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海应用技术学院 | 发明人 | 陈滢;许鹏程;李昕欣;徐涛;郑丹 |
| 分类号 | C01G9/02(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 主分类号 | C01G9/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 许骅;许亦琳 |
| 主权项 | 一种氧化锌纳米线阵列的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)清洗基底表面；2)采用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层氧化锌种子层；3)在基底上采用水热法生长氧化锌纳米线阵列；4)再将完成步骤3)的基底清洗并干燥后，形成棒状氧化锌纳米线阵列；5)采用原子层沉积工艺在完成步骤4)的基底表面再沉积一层氧化锌种子层；6)重复步骤3)‑4)，形成树枝状的氧化锌纳米线阵列。 | ||
| 地址 | 200050 上海市长宁区长宁路865号 | ||