发明名称 Method of diffusing boron into silicon wafers
摘要
申请公布号 US3180755(A) 申请公布日期 1965.04.27
申请号 US19620170935 申请日期 1962.02.05
申请人 GENERAL MOTORS CORPORATION 发明人 REINITZ KARL
分类号 H01L21/00;H01L21/225 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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