一种传感器的制造方法

摘要

本发明公开了一种传感器的制造方法，包括：在衬底基板上形成数据线的图形、漏极的图形、源极的图形、接收电极的图形、光电二极管的图形，以及透明电极的图形；通过一次构图工艺形成欧姆层的图形；通过一次构图工艺形成有源层的图形；通过一次构图工艺形成栅极绝缘层的图形；通过一次构图工艺形成栅线的图形、栅极的图形和偏压电极的图形。本发明方法对比于现有技术，减少了掩模板的使用数量，降低了制造成本，简化了生产工艺，大大提升了设备产能及产品的良品率。

主权项

一种传感器的制造方法，其特征在于，包括：在衬底基板上形成数据线的图形、与数据线连接的漏极的图形、与漏极相对而置形成沟道的源极的图形、与源极连接的接收电极的图形、位于接收电极之上的光电二极管的图形，以及位于光电二极管之上的透明电极的图形；通过一次构图工艺形成位于源极和漏极之上的欧姆层的图形；通过一次构图工艺形成位于欧姆层之上并覆盖沟道的有源层的图形；通过一次构图工艺形成位于有源层之上的栅极绝缘层的图形；通过一次构图工艺形成位于栅极绝缘层之上的栅线的图形、与栅线连接的栅极的图形和位于透明电极之上的偏压电极的图形。