| 摘要 |
패턴 검사 장치에서는, 투명 기재(9)에 있어서 패턴이 형성된 한쪽의 주면(91)에 광을 조사하는 제1 광원부(331), 다른쪽의 주면(92)에 광을 조사하는 제2 광원부(332), 및, 제1 광원부(331)로부터의 광의 패턴으로부터의 반사광과, 제2 광원부(332)로부터의 광의 투명 기재(9)로부터의 투과광을 수광 가능한 하나의 수광부(341)가 설치된다. 그리고, 투명 기재(9)를 연속적으로 이동하면서, 제1 광원부(331)와 제2 광원부(332)를 교호로 점등시킴으로써, 하나의 수광부(341)를 이용하여, 패턴으로부터의 반사광에 의거하는 반사 화상과, 투명 기재(9)로부터의 투과광에 의거하는 투과 화상을 취득하는 것이 실현된다. 이에 의해, 패턴 검사 장치에 있어서의 부품점수를 삭감할 수 있다. |
