ロボット搭載型通過ビーム基板検出器

摘要

【課題】基板を搬送するためのロボット、及び処理システムを提供する。【解決手段】回転可能な本体１４６と、第１エンドエフェクタと、ロボットに取り付けられた通過ビーム検出器２００を含むロボット１４０が提供される。第１エンドエフェクタは、本体に取り付けられ、本体と共に回転する。第１エンドエフェクタは、本体のほぼ上の格納位置と伸長位置との間の第１方向に移動可能である。通過ビーム検出器は、第１センサ２１０と、第２センサ２１６とを含む。第１及び第２センサは、第１エンドエフェクタが伸長位置と格納位置との間を移動する間、第１エンドエフェクタ上に配置された基板の両端部を検出するように動作可能な位置で横方向に離間している。【選択図】図２