半导体装置或结晶

摘要

明提供形成良质的刚玉型结晶膜的半导体装置。本发明提供的由具有刚玉型结晶结构的底层基板、具有刚玉型结晶结构的半导体层、具有刚玉型结晶结构的绝缘膜形成的半导体装置。在具有刚玉型结晶结构的材料中包括多种氧化膜，不仅能够发挥作为绝缘膜的功能，而且底层基板、半导体层以及绝缘膜全部具有刚玉型结晶结构，由此，在底层基板上能够实现良质的半导体层、绝缘膜。

主权项

一种半导体装置或结晶，在底层基板上以半导体层、绝缘膜的顺序或相反的顺序具备半导体层和绝缘膜，所述底层基板、所述半导体层及所述绝缘膜均具有刚玉型结晶结构，所述半导体层包含铟(In)或镓(Ga)。