在单一封装晶片上的多轴整合式微机电系统（ＭＥＭＳ）惯性感测装置

摘要

明揭示一种多轴整合式MEMS惯性感测器装置。该装置可包含在一单一晶片上之一整合式三轴陀螺仪及三轴加速度计，产生一六轴惯性感测器装置。藉由将该加速度计装置增加至该陀螺仪装置之，该结构在空间上有效地使用该晶片之该设计区域。设计架构可系几何中之一矩形或正方形，其利用整个晶片区域且在一界定区域中最大化该感测器之大小。该MEMS系在该封装中居中，其有利于该感测器之温度效能。此外，该整合式多轴惯性感测器装置之该等电焊垫可经组态于该矩形晶片布局之四个隅角中。此组态保证设计对称性及有效使用该晶片区域。

主权项

一种多轴整合式MEMS惯性感测器装置，该装置包括：一基板部件，其具有一表面区域，该表面区域具有一内部部分及一外部部分；至少一个焊垫，其经组态上覆于该表面区域之该外部部分之隅角的各者；一第一MEMS惯性感测器，其上覆该表面区域之该内部部分；及一第二MEMS惯性感测器，其上覆该表面区域之该外部部分；其中该第一及第二MEMS惯性感测器经组态具有一对称几何形状。