| 发明名称 | 磁性连接装置 | ||
| 摘要 | 本发明揭示了一种磁性连接装置，该磁性连接装置用于驱动沿导轨移动的一负载，其中该磁性连接装置包括：丝杆，丝杆沿平行于导轨的方向布置；连接杆，连接杆的第一端固定在丝杆上；磁性部件，安装在连接杆的第二端，磁性部件能吸附在负载上；感应装置，感应装置感应磁性部件是否吸附在负载上。本发明的磁性连接装置利用磁性连接取代刚性连接，使得驱动设备与部件之间的连接更加便捷，磁性连接允许一定的位移偏差，因此简化了连接部件的结构，也节省了连接过程的时间。 | ||
| 申请公布号 | CN105261575A | 申请公布日期 | 2016.01.20 |
| 申请号 | CN201410235862.2 | 申请日期 | 2014.05.30 |
| 申请人 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 发明人 | 杨宏超;金一诺;张怀东;王坚;王晖 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陆嘉 |
| 主权项 | 一种磁性连接装置，其特征在于，该磁性连接装置用于驱动沿导轨移动的一负载，其中该磁性连接装置包括：丝杆，丝杆沿平行于导轨的方向布置；连接杆，连接杆的第一端固定在丝杆上；磁性部件，安装在连接杆的第二端，磁性部件能吸附在负载上；感应装置，感应装置感应磁性部件是否吸附在负载上。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区上海张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢 | ||