VAD制备多孔芯棒的设备以及方法

摘要

本发明公开一种VAD制备多孔芯棒的设备，包括设置在反应容器两侧的激光器以及接收器，反应容器上设有反应容器前门以及用于透射激光的前后玻璃窗；反应容器前门与前玻璃窗分别设置于反应容器同一侧的上部和下部；接收器所处位置与前玻璃窗相对应，且接收器的上顶面低于反应容器前门的下沿位置。其方法步骤是：开启激光器和接收器；反应容器中的种棒的下端点与激光相切；向反应容器中添加气态原料并点火；关闭反应容器前门；制备出多孔芯棒。本发明将反应容器前门与前玻璃窗分别设置在反应容器的上部和下部。接收器的顶面低于反应容器前门下沿所处的位置。避免了接收器受反应容器前门启闭的影响，消除了反复调整接收器的情况，以此保证其准确。

主权项

一种VAD制备多孔芯棒的设备，包括设置在反应容器两侧的激光器以及接收器，所述反应容器上设有反应容器前门以及用于透射激光的前后玻璃窗；其特征在于：所述反应容器前门与前玻璃窗分别设置于反应容器同一侧的上部和下部；所述接收器所处位置与前玻璃窗相对应，且接收器的上顶面低于反应容器前门的下沿位置。