| 发明名称 | 自动处理装置、自动处理方法及托盘 | ||
| 摘要 | 自动处理装置具有：多个处理装置，其对具有供光束进入的开口的光学装置进行规定处理；载置台，其将光学装置与固定光学装置的托盘一体地载置；臂式机器人，其从载置台将光学装置与托盘一体地提升，并将光学装置与托盘一体地相对于多个处理装置依次轮换，使完成了规定处理的光学装置与托盘一体地返回载置台。 | ||
| 申请公布号 | CN105263670A | 申请公布日期 | 2016.01.20 |
| 申请号 | CN201480030167.0 | 申请日期 | 2014.03.25 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 高木忠雄;百濑智宣;宫川孝文;猪股克幸 |
| 分类号 | B23P21/00(2006.01)I;B25J9/16(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I | 主分类号 | B23P21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 陈伟 |
| 主权项 | 一种自动处理装置，其特征在于，具有：多个处理装置，其对具有供光束进入的开口的光学装置进行规定处理；载置台，其将所述光学装置与固定所述光学装置的托盘一体地载置；以及臂式机器人，其从所述载置台将所述光学装置与所述托盘一体地提升，并将所述光学装置与所述托盘一体地相对于所述多个处理装置依次轮换，使完成了所述规定处理的所述光学装置与所述托盘一体地返回所述载置台。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||