可测转子表面温度的牵引式分子泵

摘要

本发明公开了一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，包括外壳，在外壳内部设置有转子，在外壳内部设置有第一级分子泵，与第一级分子泵过盈连接的第三级分子泵，第三级分子泵和端面法兰连接，第二级分子泵安装在第三级分子泵的装配槽中。红外探头的测温导线依次通过第三级分子泵线槽、端面法兰线槽与端面测温装置相连。径向测温装置的测量端穿过外壳、靠近第一级分子泵的外壁。本发明的第二级分子泵和第三级分子泵的可拆装结构，可以保证在分子泵正常运行的情况下，调试和安装端面测温装置，径向测温装置有大范围的轴向选择空间。测温时，转子既可以处于静止状态、也可以处于转动状态，操作方便。

主权项

一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，包括圆筒形外壳(9)，在外壳(9)内部设置有圆柱形转子(8)，其特征在于：在所述的外壳(9)内部、转子(8)外围、且与转子(8)同轴设置有第一级分子泵(1)，与第一级分子泵(1)过盈连接的第三级分子泵(2)，第三级分子泵(2)与端面法兰(3)连接，第二级分子泵(7)固定在第三级分子泵(2)的装配槽(28)中，第一级分子泵(1)为圆筒形，在圆形内壁形成螺旋导气槽(30)，第二级分子泵(7)为圆盘形，在其下端面形成多个沿圆周均布的槽壁B段(21)和抽气槽B段(22)、并相间分布；第三级分子泵(2)为厚壁圆筒形、第三级分子泵(2)下部形成圆环形的装配槽(28)，第三级分子泵(2)中间形成中心通孔(31)，中心通孔(31)的内壁形成螺旋导气槽(30)，第三级分子泵(2)下端面形成多个沿圆周均布的抽气槽A段(18)和槽壁A段(17)、并相间分布；红外探头(29)安装在第三级分子泵的红外探头孔(15)中，其测温导线依次通过第三级分子泵线槽(19)、端面法兰线槽(25)与固定在端面法兰(3)中的端面测温装置(4)相连，端面测温装置(4)固定在测温装置安装孔(27)中，径向测温装置(5)的测量端穿过外壳(9)、靠近第一级分子泵(1)的外壁。