摘要 |
本発明に係る配線形成方法は、下層配線(2)上に形成された絶縁樹脂層(3)の上面のコンタクトホール形成箇所に、光吸収により導電性を発現するインク(6)を塗布する工程と、インク(6)に光照射し、該インク(6)を導体化させるとともに、該インク(6)の発熱により該インク(6)の塗布面の下の絶縁樹脂層(3)を除去することにより、コンタクトホール(5)を形成する工程と、を含む。コンタクトホール(5)において下層配線(2)と導通する上層配線(4)を絶縁樹脂層(3)の上面に形成する工程をさらに行ってもよい。 |