| 摘要 |
1. Многокристальная микросборка для контроля силы тока, содержащая кремниевый кристалл с выполненным в нем первым сквозным круглым отверстием, планарный концентратор в виде незамкнутого кольцевого контура с зазором, размещенный в кольцевом заглублении, выполненном в кристалле соосно первому отверстию, магниторезистивный преобразователь, выполненный на кремниевом кристалле в зазоре концентратора, магниточувствительный преобразователь выполнен из соединенных по мостовой схеме магниторезистивных полосок, над которыми размещена планарная катушка, выполненная с возможностью формирования магнитного поля вдоль оси легкого намагничивания магниторезистивных полосок; выходы мостовой схемы соединены с входами схемы усиления, кристалл которой размещен во втором отверстии, выполненном в кремниевом кристалле.2. Многокристальная микросборка для контроля силы тока по п. 1, отличающаяся тем, что в каждом плече мостовой схемы соединены по меньшей мере два магниторезистивных элемента.3. Многокристальная микросборка для контроля силы тока по п. 1, отличающаяся тем, что магниторезистивные полоски выполнены с анизотропным магниторезистивным эффектом.4. Многокристальная микросборка для контроля силы тока по п. 1, отличающаяся тем, что магниторезистивные полоски выполнены с гигантским магниторезистивным эффектом.5. Многокристальная микросборка для контроля силы тока по п. 1, отличающаяся тем, что концентратор выполнен из магнитомягкого ферромагнитного материала с высокой магнитной проницаемостью. |
