| 发明名称 |
放射线检出器用ＵＢＭ电极构造体、放射线检出器及其制造方法 |
| 摘要 |
明系一种放射线检出器用UBM电极构造体，放射线检出器及其制造方法，其中，提供：抑制形成UBM层时之金属电极层之劣化，实现充分之电性特性之放射线检出器用UBM电极构造体，放射线检出器及其制造方法者。本发明之放射线检出器用UBM电极构造体，系具有CdTe或CdZnTe所成之基板的放射线检出器用UBM电极构造体，其中，具备：经由无电解电镀而形成于前述基板上之Pt或Au电极层，和经由溅镀而形成于前述Pt或Au电极层上之Ni层，和经由溅镀而形成于前述Ni层上之Au层者。
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| 申请公布号 |
TW201602621 |
申请公布日期 |
2016.01.16 |
| 申请号 |
TW104119277 |
申请日期 |
2015.06.15 |
| 申请人 |
吉坤日矿日石金属有限公司 |
发明人 |
村上昌臣;三上充;村上幸司;野田朗;伊森彻 |
| 分类号 |
G01T1/24(2006.01);H01L31/0296(2006.01);H01L31/0224(2006.01);H01L31/115(2006.01) |
主分类号 |
G01T1/24(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
一种放射线检出器用UBM电极构造体，系具有CdTe或CdZnTe所成之基板的放射线检出器用UBM电极构造体，其特征为具备：经由无电解电镀而形成于前述基板上之Pt或Au电极层，和经由溅镀而形成于前述Pt或Au电极层上之Ni层，和经由溅镀而形成于前述Ni层上之Au层者。
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| 地址 |
日本 |
