| 发明名称 |
由碳化钨或碳化钛构成之溅镀靶 |
| 摘要 |
明系一种由碳化钨或碳化钛构成之溅镀靶，其特征在于：纯度为4N以上，密度为98%以上。本发明之课题在于提供一种将纯度维持为高纯度并且密度较高、均匀且高硬度、且可实现稳定之高速成膜并且较少产生微粒之由碳化钨或碳化钛构成之靶。
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| 申请公布号 |
TW201602052 |
申请公布日期 |
2016.01.16 |
| 申请号 |
TW104108760 |
申请日期 |
2015.03.19 |
| 申请人 |
ＪＸ日鑛日石金属股份有限公司 |
发明人 |
大桥一允;小田国博 |
| 分类号 |
C04B35/56(2006.01);C23C14/34(2006.01);C04B35/64(2006.01) |
主分类号 |
C04B35/56(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰;林景郁 |
| 主权项 |
一种碳化钨溅镀靶，其纯度为4N以上，密度为98%以上。
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| 地址 |
日本 |
