| 摘要 |
<p>본 발명의 혼합형 플라즈마 반응기는 반응기 몸체; 상기 반응기 몸체의 구성된 전극 장착판과 반응기 몸체의 내부 공간에 접하는 상기 전극 장착판의 일면에 간격을 두고 설치되는 복수개의 안테나 전극을 포함하며 상기 반응기 몸체의 내부에 용량 결합된 플라즈마와 유도 결합된 플라즈마를 혼합적으로 발생시키는 안테나 전극 어셈블리; 및 상기 안테나 전극 어셈블리로 전원을 공급하기 위한 메인 전원 공급원을 포함하되, 상기 안테나 전극 어셈블리는 상기 복수개의 안테나 전극 각각에 형성되어 플라즈마의 확산을 위한 개구부를 포함한다. 본 발명의 혼합형 플라즈마 반응기에 의하면, 용량 결합 플라즈마와 유도 결합 플라즈마를 혼합적으로 발생 시킬 수 있는 안테나 전극 어셈블리에 의해 대면적의 플라즈마를 균일하게 발생할 수 있다. 또한 플라즈마의 상호 확산을 용이하게 하여 피처리 기판의 보다 균일한 처리가 가능하다.</p> |
