| 摘要 |
<p>본 발명은 몰드를 이용하여 기판 상에 패터닝을 진행 후, 상기 몰드로부터 기판을 분리시 발생되는 데미지를 방지한 표시 장치의 패턴 형성 방법 및 이를 위한 패턴 형성 장비에 관한 것으로, 본 발명의 표시 장치의 패턴 형성 방법은, 기판 상에 패턴물질층을 도포한 후, 표면에 패턴 정의막을 갖는 몰드를 대응시켜 기판 상에 패턴을 형성하는 단계와, 상기 기판의 일 코너에 대응되는 지점에서, 상기 패턴을 포함한 기판과 상기 몰드 사이에 고압의 가스를 분사하여, 상기 몰드와 기판 사이에 내측에서 외측으로 밀어내는 분리 씨드 포인트를 형성하는 단계 및 상기 분리 씨드 포인트가 형성된 측의 몰드의 배면을 잡아당겨 상기 몰드와 기판을 분리하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.</p> |
