量子级联激光器相干阵列结构、激光器及其制造方法

摘要

一种量子级联激光器相干阵列结构，包括：一衬底；一下波导层；一有源层，该有源层在横向被分成若干个不等宽度的微米条阵列，中间的微米条最宽，向两侧微米条宽度依次递减；一半绝缘InP：Fe层，该半绝缘InP：Fe层位于有源层的两侧且等宽度用来隔离微米条阵列；一上波导层。以及一种采用该相干阵列结构的量子级联激光器及其制造方法。本发明通过啁啾的有源脊宽度设计调整了微米条阵列间的增益分配，使基超模具有最低的波导损耗从而优先激射，从而改善了光束质量，同时利用半绝缘InP作为有源层的分隔区和光场的耦合区，不但实现了阵列的相干激射而且显著降低了有源区的工作温度，从而有利于提高器件的输出功率。

主权项

一种量子级联激光器相干阵列结构，包括：一衬底；一下波导层，该下波导层位于该衬底上；一有源层，该有源层位于该下波导层上，且在横向上被分成间隔开来的若干个不等宽度的微米条阵列，其中位于中间的微米条最宽，朝向两侧微米条的宽度依次递减；一半绝缘InP：Fe层，该半绝缘InP：Fe层在横向上被分成间隔开的若干等宽度阵列，位于该有源层的左右两侧及间隔其中，用来隔离所述微米条阵列；一上波导层，该上波导层位于该有源层和半绝缘InP：Fe层上。