用于保护诸如MEMS开关的开关的方法和装置，以及包括该保护装置的MEMS开关

摘要

提供一种用于保护MEMS开关的方法和装置。该方法和装置通过在MEMS开关在打开和关闭之间切换期间减少对流经其电流的脆弱性而改进MEMS开关的完整性，反之亦然。保护电路提供围绕所述MEMS组件的并联路径，被称为分流器。然而，当不需要它们时，分流电路内的组件本身可从分流器移除。当开关应该在断开状态时，这样改进分流器的电性能。

主权项

一种保护开关的方法，包括提供并联开关的分流路径，其中所述分流路径包括串联至少一个机械开关的至少一个固态设备。