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发明名称
砥粒、スラリー、研磨液及びこれらの製造方法
摘要
4価金属元素の塩を含む金属塩溶液と、アルカリ液とを混合して、4価金属元素の水酸化物を含む粒子を得る工程と、4価金属元素の水酸化物を含む粒子を加熱する工程と、を備える、砥粒の製造方法。
申请公布号
JPWO2013175853(A1)
申请公布日期
2016.01.12
申请号
JP20140516703
申请日期
2013.03.26
申请人
日立化成株式会社
发明人
岩野 友洋
分类号
C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304
主分类号
C09K3/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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