多層積層膜の製造方法

摘要

速い塗布速度において、膜厚の均一性が向上し、干渉ムラが低減される多層積層膜の製造方法を提供する。本発明は、基材上に、塗布速度１０ｍ／ｍｉｎ以上の速度で複数の塗布液を同時重層塗布する工程を含む多層積層膜の製造方法であって、前記塗布液の温度４５℃、せん断速度１０ｓｅｃ-1における粘度をＡ［ｍＰａ・ｓ］、前記塗布液の温度４５℃、せん断速度１０００ｓｅｃ-1における粘度をＢ［ｍＰａ・ｓ］、および前記塗布液の温度４５℃、せん断速度１００００ｓｅｃ-1における粘度をＣ［ｍＰａ・ｓ］としたとき、前記複数の塗布液のうち少なくとも１つの塗布液のＡ／Ｂが１．５〜９の範囲であり、かつＢ／Ｃが０．６〜１．４の範囲である、多層積層膜の製造方法である。