用以测试沉积制程之遮罩组件、包含该遮罩组件之沉积设备及使用该遮罩组件之沉积制程的测试方法

摘要

沉积设备，包含沉积源、沉积室、遮罩组件及一传送单元。遮罩组件包含支撑构件、开关构件及传动构件。支撑构件具有第一开口，配置以允许沉积材料穿过，同时支撑穿过之沉积材料沉积于其上之基底基板。开关构件容纳于支撑构件内并具有小于第一开口之第二开口。传动构件配置以依照遮罩组件之移动而相对于基底基板改变第二开口之位置。

主权项

一种用以测试沉积制程之遮罩组件，包含：一支撑构件，具有一第一开口，配置以允许沉积材料穿过，同时当该遮罩组件以一第一方向移动时，支撑穿过之该沉积材料沉积于其上之一基底基板；一开关构件，容纳于该支撑构件内并具有小于该第一开口之一第二开口；以及一传动构件，配置以依照该遮罩组件之移动而移动该开关构件，以相对于该基底基板改变该第二开口之一位置。