液静压工作装置

摘要

液静压工作装置，包括一基座、一载台、一液静压提供器、一量测器及一控制器。载台设置于基座。载台设有一液静压通道，液静压通道内设有油液。载台透过液静压通道内之油液与基座间具有一间距。液静压提供器，供给液静压通道之油液并调整油液供给压力。量测器设置于载台，用以量测载台与基座间之间距，并输出一距离讯号。控制器连接液静压提供器与量测器。控制器根据距离讯号控制液静压提供器调整油液供给压力。

主权项

一种液静压工作装置，包括：一基座，具有一排放通道、复数个基准面、一对轨道及一垂直中心轴，该些基准面位于该对轨道之外侧；一载台，设置于该基座，该载台设有一液静压通道，该液静压通道内设有油液，该载台透过该液静压通道内之油液与该基座间具有一间距，该垂直中心轴贯穿该载台，该排放通道与该间距连通，该载台设置于该基座之该对轨道，且能沿该对轨道移动；一液静压提供器，供给该液静压通道之油液并调整油液供给压力；一量测器，设置于该载台，且包括复数个量测单元，该量测器用以量测该载台与该基座间之间距，并输出一距离讯号，该些量测单元分别朝向该些基准面且用以量测；以及一控制器，连接该液静压提供器与该量测器，该控制器根据该距离讯号控制该液静压提供器调整油液供给压力；其中，该些基准面朝向该对轨道，且具有一法线实质上垂直于该垂直中心轴，该些量测单元设置于该载台之侧面，且分别背对该对轨道而朝向该些基准面，各该基准面及该垂直中心轴间之距离大于各该量测单元及该垂直中心轴间之距离。