一种四氯化硅提纯工艺及系统

摘要

本发明公开了一种四氯化硅提纯工艺及系统，该工艺包括以下步骤：(1)在催化剂作用下，将汽化的粗四氯化硅与氯气在氮气保护下进行反应，反应完成后对反应物进行冷凝，使四氯化硅液化；(2)将冷凝获得的液相依次通过活性Al₂O₃吸附、第一次精馏、活性硅胶吸附、第二次精馏，制得纯度大于99.99999％的四氯化硅。该系统包括次连接的汽化器、固定床反应器、气液分离器、活性氧化铝吸附柱、第一级精馏塔、活性硅胶吸附柱、第二级精馏塔。本发明利用氯气与粗四氯化硅中的含氢化合物反应，气液分离后，再利用交替设置的吸附和精馏除去粗四氯化硅中的氯化物，可以让四氯化硅的纯度达到99.99999％以上。

主权项

一种四氯化硅提纯工艺，包括以下步骤：(1)将氯气和汽化的工业级四氯化硅通入固定床反应器在催化剂作用下进行反应，反应完成后，将输出固定床反应器的气相产物冷凝，气液分离获得液化的四氯化硅粗品；(2)将液化的四氯化硅粗品依次通过活性Al₂O₃吸附、第一次精馏、活性硅胶吸附、第二次精馏，制得纯度大于99.99999％的四氯化硅。