腔室内流体处理系统和使用其处理流体的方法

摘要

样品腔室是建构成容纳靶材，使得部分的靶材是可以移除而作为样品。载体气体注入系统是建构成从样品腔室里的第一位置和第二位置将载体气体引入样品区，使得至少部分的样品可以由样品区里的载体气体所夹带。部分的样品区位于第一位置和第二位置之间。样品运输导管是建构成将载体气体所夹带之至少部分的样品运输到样品腔室外的位置。

主权项

一种设备，其特征在于，包括：样品腔室，其包括在其内部里的样品区，该样品腔室是建构成容纳靶材，使得部分的该靶材是可以移除而作为样品；载体气体注入系统，其建构成从该样品腔室里的第一位置和第二位置将载体气体引入该样品区，使得至少部分的该样品可以由该样品区里的该载体气体所夹带，其中部分的该样品区位在该第一位置和该第二位置之间；以及样品运输导管，其建构成将该载体气体所夹带的至少部分的该样品运输到该样品腔室外的位置。