具有对由于诸如正交分量之类的扰动力所致的误差补偿的微机电设备

摘要

MEMS设备具有通过第一弹性元件弹性地承载悬挂质量块的支撑区域。调谐动态吸收器弹性耦合到悬挂质量块，并且被配置为使以动态吸收器的自然振荡频率作用于悬挂质量块上的正交力减幅。调谐动态吸收器由通过第二弹性元件耦合到悬挂质量块的阻尼质量块形成。在实施例中，悬挂质量块和阻尼质量块形成在例如半导体材料的同一结构层中，并且阻尼质量块被悬挂质量块围绕。

主权项

一种MEMS设备，包括：基板；第一弹性元件；以及可移动质量块系统，所述可移动质量块系统包括：悬挂质量块，所述悬挂质量块通过所述第一弹性元件弹性耦合到所述基板并且受到沿振动方向的扰动力；和动态吸收器，所述动态吸收器弹性耦合到所述悬挂质量块并且被配置为减少所述悬挂质量块由于所述扰动力所致的移动。