气体流量测定装置

摘要

本发明提供一种将对流量信号进行修正时的修正精度提高的气体流量测定装置。气体流量测定装置具有：配置在气体流路中的一个或多个电阻器；气体流量检测电路，其通过检测在上述电阻器中流动的电流或与该电流相应地产生的电压，输出与在上述气体流路中流动的气体流量相应的气体流量检测信号；和用于检测上述气体流路中的气体温度的气体温度检测元件或者设置在集成电路内部的用于检测基板温度的基板温度检测元件，上述气体流量测定装置根据它们的温度检测信号进行流量信号的特性修正，上述气体流量测定装置具备信号转换单元，该信号转换单元对从上述气体流量检测信号的目标特性偏离一定量以上的特性畸变进行修正。

主权项

一种气体流量测定装置，其特征在于，包括：气体流量检测电路，其通过检测在配置于气体流路中的一个或多个电阻器中流动的电流或者与该电流相应地产生的电压，输出与在所述气体流路中流动的气体流量相应的气体流量检测信号；和用于检测所述气体流路中的气体温度的气体温度检测元件或者设置在集成电路内部的用于检测基板温度的基板温度检测元件，所述气体流量测定装置根据从所述气体温度检测元件或者所述基板温度检测元件得到的温度检测信号，进行所述气体流量检测信号的特性修正，所述气体流量测定装置具备信号转换单元，所述信号转换单元在存在从所述气体流量检测信号的目标特性偏离一定量以上的特性畸变的情况下，在令所述特性畸变的搜索区域的最小值为a、令所述特性畸变的搜索区域的最大值为b、令a与b之间的分割数为n时，根据a与b之间的特性畸变的大小增大所述分割数n来修正目标特性。