一种具有倒膜、扩膜功能的一体机

摘要

本实用新型提供的一种具有倒膜、扩膜功能的一体机，至少包括：一框架机构、固定于所述框架机构上的载台、设置在所述载台上部的压膜装置和控制装置、及固定于所述载台下部的顶膜装置和传送装置，所述压膜装置、顶膜装置、传送装置、分别与所述控制装置连接，其特征在于，所述一体机还包设置于所述压膜装置的晶粒擦拭装置及设置于所述载台上部的晶粒检测装置。通过为现有扩膜机加装传送装置和晶粒擦拭装置，实现倒膜与扩膜的同步作业。同时，安装检测装置，在扩膜作业时对晶粒进行扫描并计算晶粒间距，实现对扩膜效果的即时监控。

主权项

一种具有倒膜、扩膜功能的一体机，至少包括：一框架机构、固定于所述框架机构上的载台、设置在所述载台上部的压膜装置和控制装置、及固定于载台下部的顶膜装置和传送装置，所述压膜装置、顶膜装置、传送装置、分别与所述控制装置连接，其特征在于，所述一体机还包括设置于所述压膜装置的晶粒擦拭装置及设置于所述载台上部的晶粒检测装置。