| 摘要 |
<p>본 발명은 하나 이상의 전극 핑거를 포함하는, 미세기계 부품용 전극 코움(82)에 관한 것으로, 상기 전극 핑거에 대해 제1 중심 종축(88a, 90a)을 갖는 제1 전극 핑거 서브 유닛(88, 90) 및 제2 중심 종축(88a, 90a)을 갖는 제2 전극 핑거 서브 유닛(88, 90)이 정의될 수 있으며, 제2 중심 종축(88a, 90a)은 제1 중심 종축(88a, 90a)에 비해 0°나 180°가 아닌 꺾임각(δ)으로 기울어진다. 본 발명은 또한 그러한 전극 코움(82)을 구비한 미세기계 부품에 관한 것이다. 본 발명은 또한 전극 코움(82) 및 미세기계 부품을 제조하는 방법에 관한 것이다.</p> |
