| 发明名称 |
耐电浆性构件 |
| 摘要 |
一种耐电浆性构件，其特征在于包含：基材；包含藉由气溶胶沉积法形成于前述基材的表面的氧化钇多晶体，具有耐电浆性之层状结构物，构成前述层状结构物的氧化钇多晶体具有立方晶体与单斜晶体混合的结晶构造，构成前述层状结构物的氧化钇多晶体中的单斜晶体对立方晶体的比例为0%以上60%以下，构成前述层状结构物的氧化钇多晶体的微晶大小为8nm以上50nm以下。 【代表图】 |
| 申请公布号 |
TW201600490 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW104119832 |
申请日期 |
2015.06.18 |
| 申请人 |
ＴＯＴＯ股份有限公司 |
发明人 |
岩泽顺一 |
| 分类号 |
C04B35/505(2006.01);C04B41/50(2006.01);C04B41/87(2006.01);H01J37/32(2006.01) |
主分类号 |
C04B35/505(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈志旭 |
| 主权项 |
一种耐电浆性构件，其特征在于包含： 基材；以及 包含藉由气溶胶沉积法形成于该基材的表面的氧化钇多晶体，具有耐电浆性之层状结构物， 构成该层状结构物的氧化钇多晶体具有立方晶体与单斜晶体混合的结晶构造， 构成该层状结构物的氧化钇多晶体中的单斜晶体对立方晶体的比例为0%以上60%以下， 构成该层状结构物的氧化钇多晶体的微晶大小为8nm以上50nm以下。 |
| 地址 |
日本 |
