流化床反应器和用于制备粒状多晶矽的方法

摘要

明涉及一种用于制备粒状多晶矽的流化床反应器，所述流化床反应器包括反应器容器(1)、位于所述反应器容器(1)内的反应器管(2)和反应器底部(15)，其中，有中间夹套(3)位于所述反应器管(2)的外壁与所述反应器容器(1)的内壁之间；并且还包括加热装置(5)、至少一用于引入流化气体的底部气体喷嘴(9)以及至少一用于引入反应气体的二次气体喷嘴(10)、用于供应矽晶种颗粒的供料装置(11)、用于粒状多晶矽的排出管线(14)以及用于排放反应器废气(16)的设备，其中所述反应器管(2)的主要元件包含至少60重量%的碳化矽，且包含CVD涂层，所述CVD涂层的层厚度为至少5 μm，且由达至少99.995重量%之程度的SiC组成，或所述反应器管(2)的主要元件由包含至少99.99重量%的α-Al2
O3
的蓝宝石玻璃组成。本发明还涉及一种用于在所述流化床反应器中制备粒状多晶矽的方法。

主权项

【第1项】一种用于制备粒状多晶矽的流化床反应器，其包括一反应器容器(1)、位于所述反应器容器(1)内的一反应器管(2)和一反应器底部(15)，其中，一中间夹套(3)位于所述反应器管(2)的一外壁与所述反应器容器(1)的一内壁之间，并且还包括一加热装置(5)、至少一用于引入流化气体的底部气体喷嘴(9)以及至少一用于引入反应气体的二次气体喷嘴(10)、一用于供应矽晶种颗粒的供料装置(11)、一用于粒状多晶矽的排出管线(14)以及一用于排放反应器废气(16)的设备，其中所述反应器管(2)的一主要元件包含至少60重量%的碳化矽，且至少在其内侧上具有一CVD涂层，所述CVD涂层具有至少5 微米（μm）的层厚度，且由达至少99.995重量%之程度的碳化矽组成。