发明名称 感光性树脂组成物、保护膜及具有保护膜之元件
摘要 明系有关一种感光性树脂组成物、保护膜及具有该保护膜之元件。上述感光性树脂组成物包含聚矽氧烷树脂(A)、硷可溶性树脂(B)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(C)及溶剂(D),其中该硷可溶性树脂(B)系由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(b1)、具有双键基团之芴衍生物(b2)及具有酸分解性基之不饱和化合物(b3)所共聚合而得。
申请公布号 TW201600933 申请公布日期 2016.01.01
申请号 TW103122315 申请日期 2014.06.27
申请人 奇美实业股份有限公司 发明人 吴明儒;施俊安
分类号 G03F7/075(2006.01);C08L83/04(2006.01);C08K5/42(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/075(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财;李世章
主权项 一种感光性树脂组成物,包含:聚矽氧烷树脂(A),由如下式(I)所示之矽烷单体聚缩合形成:Si(Y1)a(OY2)4-a 式(I)于该式(I)中,该Y1分别独立地代表氢原子、碳数为1至10之烷基、碳数为2至10之烯基、碳数为6至15之芳香基、具有酸酐基之烷基、具有环氧基之烷基或具有环氧基之烷氧基;该Y2分别独立地代表氢原子、碳数为1至6之烷基、碳数为1至6之醯基或碳数为6至15之芳香基;该a代表0至3之整数;硷可溶性树脂(B),由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(b1)、具有双键基团之芴衍生物(b2)及具有酸分解性基之不饱和化合物(b3)所共聚合而得;邻萘醌二叠氮磺酸酯(C);以及溶剂(D)。
地址 台南市仁德区三甲里59之1号