元件用Ｇｅ基板之洗净方法，洗净水供给装置及洗净装置

摘要

一种可在Ge基板的洗净工程或清洗工程中，一边抑制Ge氧化、溶解及因溶解而起的表面粗糙，一边进行有效的洗净或清洗洗净的方法及装置。使用将DO及过氧化氢去除后的水来将Ge基板进行洗净，藉此抑制洗净时的Ge的氧化、溶解。洗净水可为使氢气、氮气等非氧化性气体溶解的气体溶解水，亦可添加有药品。洗净亦可藉由超音波洗净、高压喷射洗净或二流体洗净进行。

主权项

一种元件用Ge基板之洗净方法，其系具有：以将溶解氧去除后的水来洗净元件用Ge基板的工程。