图案形成方法

摘要

图案形成方法，包括下列步骤。提供晶圆，晶圆包括多个晶圆内部晶粒与多个晶圆边缘晶粒。在各晶圆内部晶粒上形成第一图案，且在各晶圆边缘晶粒上形成第二图案，其中第一图案的形成方法包括进行至少两次曝光制程，第二图案的形成方法包括进行上述至少两次曝光制程中的至少一次，且形成第二图案所进行的曝光制程次数少于形成第一图案所进行的曝光制程次数。

主权项

一种图案形成方法，包括：提供一晶圆，该晶圆包括多个晶圆内部晶粒与多个晶圆边缘晶粒；以及在各该晶圆内部晶粒上形成一第一图案，且在各该晶圆边缘晶粒上形成一第二图案，其中该些第一图案的形成方法包括进行至少两次曝光制程，该些第二图案的形成方法包括进行该至少两次曝光制程中的至少一次，且形成该些第二图案所进行的曝光制程次数少于形成该些第一图案所进行的曝光制程次数。