发明名称 |
Procédé permettant d'appliquer des couches polycristallines en substances élémentaires sur des substrats |
摘要 |
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申请公布号 |
FR1519260(A) |
申请公布日期 |
1968.03.29 |
申请号 |
FR19670102978 |
申请日期 |
1967.04.17 |
申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
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分类号 |
C23C16/02;H01L21/00;H01L21/3205 |
主分类号 |
C23C16/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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