发明名称 Procédé permettant d'appliquer des couches polycristallines en substances élémentaires sur des substrats
摘要
申请公布号 FR1519260(A) 申请公布日期 1968.03.29
申请号 FR19670102978 申请日期 1967.04.17
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人
分类号 C23C16/02;H01L21/00;H01L21/3205 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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