发明名称 |
惰性气体纯化系统 |
摘要 |
本实用新型涉及一种惰性气体纯化系统,包括第一气体纯化罐、第二气体纯化罐、备用气体纯化罐、气体进料总管道、气体出料总管道、气体进料三岔支路、进料支路气动波纹管阀、出料支路气动波纹管阀、气体出料三岔支路,所述第一气体纯化罐、第二气体纯化罐和备用气体纯化罐的顶部分别设有气体进料管和气体出料管,气体出料管上均设有一个出料支路气动波纹管阀,每个出料支路气动波纹管阀均与气体出料三岔支路上的一个支路连接,气体出料三岔支路与气体出料总管道连接。本实用新型采用三个纯化罐的结构,并且其管路连接结构也做出了相应的调整,需要维修的情况下气体纯化系统的气体纯化和纯化罐内纯化材料的再生。 |
申请公布号 |
CN204917974U |
申请公布日期 |
2015.12.30 |
申请号 |
CN201520634190.2 |
申请日期 |
2015.08.21 |
申请人 |
先普半导体技术(上海)有限公司 |
发明人 |
江晓松 |
分类号 |
C01B23/00(2006.01)I |
主分类号 |
C01B23/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种惰性气体纯化系统,其特征在于,包括第一气体纯化罐、第二气体纯化罐、备用气体纯化罐、气体进料总管道、气体出料总管道、气体进料三岔支路、进料支路气动波纹管阀、出料支路气动波纹管阀、气体出料三岔支路,所述第一气体纯化罐、第二气体纯化罐和备用气体纯化罐的顶部分别设有气体进料管,每个气体进料管上分别设有一个进料支路气动波纹管阀,每个进料支路气动波纹管阀均与气体进料三岔支路上的一个支路连接,气体进料三岔支路与气体进料总管道连接,所述第一气体纯化罐、第二气体纯化罐和备用气体纯化罐的底部均设有气体出料管,每个气体出料管上均设有一个出料支路气动波纹管阀,每个出料支路气动波纹管阀均与气体出料三岔支路上的一个支路连接,气体出料三岔支路与气体出料总管道连接。 |
地址 |
201100 上海市闵行区金都路4299号6号楼6221室 |