一种超高纯气体中痕量水分分析的前处理系统及方法

摘要

本发明公开了一种超高纯气体中痕量水分分析的前处理系统及方法，系统中超高纯气体样品气瓶通过管线连接减压阀，在管线的超高纯气体样品流动方向上，减压阀的下游还依次连接有三通流路阀，第一隔膜阀，痕量水分分析仪和第二隔膜阀；所述三通流路阀的一个端口可拆卸的连接有高真空系统。相应的前处理方法为，超高纯气体样品的简单吹扫设备之后，通过高真空系统真空处理及加热装置的加热，使设备中的水分快速排出，完成痕量水分分析前的处理工作。本发明提供的超高纯气体中痕量水分分析的前处理系统及方法，能够快速排出水分，减少了超高纯气体样品的消耗，节约了检测超高纯气体的时间，提高了工作效率。

主权项

一种超高纯气体中痕量水分分析的前处理方法，其特征在于，所述处理方法应用于超高纯气体中痕量水分分析的前处理系统，该处理系统包括超高纯气体样品气瓶(1)以及与其连通的管线(2)，管线(2)上安装有减压阀(3)，其特征在于，在管线(2)的超高纯气体样品的流动方向上，减压阀(3)的下游还依次连接有三通流路阀(4)，第一隔膜阀(6)，痕量水分分析仪(7)和第二隔膜阀(8)；所述三通流路阀(4)的一个端口可拆卸的连接有高真空系统(5)，另外两个端口分别通过管线(2)与所述减压阀(3)和第一隔膜阀(6)连通；所述前处理方法包括以下具体步骤：步骤一：所述第一隔膜阀(6)与第二隔膜阀(8)关闭，所述三通流路阀(4)的端口A(10)、端口B(11)、端口C(12)相互连通，利用超高纯气体样品对减压阀(3)、三通流路阀(4)和管线(2)进行简单的吹扫，将其内部的气体进行置换，内部气体从端口C(12)排出；步骤二：将所述三通流路阀(4)端口C(12)与高真空系统(5)连通，利用高真空系统(5)对管线(2)和减压阀(3)进行高真空处理，同时利用加热装置对所述前处理系统中的管线(2)、减压阀(3)、三通流路阀(4)进行加热；步骤三：当真空度达到要求后，将三通流路阀(4)设置为端口A(10)和端口B(11)连通，打开超高纯气体样品气瓶(1)，通过减压阀(3)将超高纯气体压力调整到痕量水分分析仪(7)所需的压力，然后分别打开痕量水分分析仪(7)两端的第一隔膜阀(6)和第二隔膜阀(8)，开始分析超高纯气体样品。