一种激光光斑尺寸的测量装置和方法

摘要

本发明公开了一种激光光斑尺寸的测量装置和方法，沿待测激光的传输方向，该装置依次包括：第一透镜、第二透镜和CCD；其中，第一透镜、第二透镜和CCD共轴，第一透镜的焦距为f1，第二透镜的焦距为f2；对于待测激光在传输方向上的每个位置，当测量该位置处的光斑尺寸时，第一透镜与该位置在光轴上的距离为f1，第二透镜与CCD在光轴上的距离为f2。本发明提供的技术方案通过在待测激光的传输方向上合理设置第一透镜、第二透镜和CCD，将待测激光成像在CCD上，使得CCD上得到的光斑尺寸与被测位置处的光斑尺寸成比例，解决了现有技术中无法对超出CCD的大尺寸光斑进行准确测量的问题，具有结构简单、配置合理的优点，能够实现简单、高效、可靠的光斑尺寸测量。

主权项

一种激光光斑尺寸的测量装置，其特征在于，沿待测激光的传输方向，该装置依次包括：第一透镜、第二透镜和电荷耦合元件CCD图像传感器；其中，所述第一透镜、所述第二透镜和所述CCD图像传感器共轴，所述第一透镜的焦距为f₁，所述第二透镜的焦距为f₂；对于待测激光在传输方向上的每个位置，当测量该位置处的光斑尺寸时，所述第一透镜与该位置在光轴上的距离为f₁，所述第二透镜与所述CCD图像传感器在光轴上的距离为f₂。