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<p>전극 어레이를 형성하는 방법이 개시되며, 이 방법은 스파인에 의해 지지되며 이 스파인으로부터 연장되는 세로로 이격된 복수의 전극 콘택을 포함하는 긴 콤 구조체를 형성하는 단계, 복수의 전극 콘택 중 개개의 전극 콘택에 복수의 전기 전도성 경로 각각을 전기적으로 접속하는 단계, 복수의 전극 콘택에 인접하게 복수의 전기 전도성 경로를 놓는 단계, 복수의 전기 전도성 경로 및 복수의 전극 콘택 상에 실리콘을 놓는 단계, 이웃하는 콘택들 사이의 세로 간격을 실질적으로 유지하도록 실리콘을 경화하는 단계, 및 복수의 전극 콘택으로부터 스파인을 분리하는 단계를 포함한다.</p> |
