一种MEMS结构及其制作方法

摘要

本发明属于微机械系统领域，涉及一种MEMS结构及其制作方法，结构包括衬底、可控变形部件、被悬挂部件，其中，被悬挂部件通过至少一个可控变形部件与衬底连接，还包括设置在所述被悬挂部件上的第一连接部以及设置在所述衬底上的第二连接部。一种所述MEMS结构的制作方法，所述可控变形部件为两种或两种以上不同膨胀系数材料叠放而成的薄膜结构，通过外部对整个MEMS结构加热或制冷来控制可控变形部件的变形，从而改变被悬挂部件的悬挂高度或角度；当被悬挂部件的悬挂高度或角度达到设定要求后，通过粘结材料将被悬挂部件上第一连接部与衬底上的第二连接部连接固定。本发明方法实现了MEMS结构精密，准确，可靠的固定连接。

主权项

一种MEMS结构，其特征在于，包括衬底（1）、可控变形部件（3）、被悬挂部件（4），其中，被悬挂部件（4）通过至少一个可控变形部件（3）与衬底（1）连接，还包括设置在所述被悬挂部件（4）上的第一连接部（7）以及设置在所述衬底（1）上的第二连接部（8）。