一种卡匣及搬运玻璃基板的装置

摘要

本发明实施例公开了一种卡匣，至少包括设置于侧部的多个竖柱（10）和底部框架（13），由所述多个竖柱（15）向卡匣内部延伸出多个支撑柱（11），每一支撑柱（11）上设置有支撑吸盘（12），每层支撑柱可供玻璃基板（4）放置；在支撑吸盘（12）、支撑柱（11）、竖柱（15）及底部框架（13）内部均设置有卡匣气体通道并连通形成一体，并能形成负压，用于吸附住所述玻璃基板（4）。本发明实施例还公开了一种搬运玻璃基板的装置。本发明可以提高搬运玻璃基板的安全性及搬运速度。

主权项

一种卡匣，用于放置玻璃基板，其特征在于，包括：顶部框架（15）、设置于侧部的多个竖柱（10）以及底部框架（13），其中，由所述多个竖柱（10）向卡匣内部延伸出多个支撑柱（11），每一支撑柱（11）上设置有支撑吸盘（12），由所述多个支撑柱（11）形成有多层支撑平面，每层支撑平面均可供玻璃基板（4）放置；在支撑吸盘（12）、支撑柱（11）、竖柱（10）及底部框架（13）内部均设置有卡匣气体通道并连通形成一体，当所述支撑吸盘（12）上放置有玻璃基板（4）时，所述卡匣气体通道内部可形成负压，并吸附住所述玻璃基板（4），其中，所述卡匣气体通道至少包括设置于所述支撑吸盘（12）中的第一气体通道（120）；其中，所述支撑吸盘（12）进一步包括：压力传感器（126），设置于所述支撑吸盘（12）上部与所述玻璃基板（4）接触的位置上，用于采集压力信息；气阀（124），设置于所述支撑吸盘（12）的第一气体通道（120）上，用于开启或关闭所述第一气体通道（120）；气阀控制器（122），设置于所述压力传感器（126）和所述气阀（124）之间，用于根据所述压力传感器（126）所采集的压力信息，驱动气阀（124）实现开启或关闭。