发明名称 紫外半导体传感器装置和测量紫外辐射的方法
摘要 光电二极管(2)和另一光电二极管(3)被布置在衬底(1)中在主表面(10)处或主表面(10)附近。以这样的方式来形成和布置光电二极管:使得在入射紫外辐射(26)的情况下,来自光电二极管(2)的电信号大于来自另一光电二极管(3)的另一电信号。特别地,第一光电二极管可以比另一光电二极管对紫外辐射更敏感。通过另一电信号来衰减来自该光电二极管的电信号,从而产生主要测量入射紫外辐射的电信号。可以通过内部地使用集成电路(25)或外部地使用单独装置来实现来自第一光电二极管的电信号的衰减。
申请公布号 CN105190260A 申请公布日期 2015.12.23
申请号 CN201480013024.9 申请日期 2014.03.07
申请人 ams有限公司 发明人 尤金·G·迪施克;托德·毕晓普;马里奥·曼宁格
分类号 G01J1/42(2006.01)I 主分类号 G01J1/42(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 杜诚;陈炜
主权项 一种半导体传感器装置,包括:–半导体衬底(1),其具有主表面(10);–光电二极管(2),其被布置在所述衬底(1)中在所述主表面(10)处或所述主表面(10)附近,所述光电二极管(2)响应于入射辐射(26)而生成电信号,以及–另一光电二极管(3),其被布置在所述衬底(1)中在所述主表面(10)处或所述主表面(10)附近,所述另一光电二极管(3)响应于所述入射辐射(26)而生成另一电信号,所述半导体传感器装置的特征在于–以这样的方式来形成和布置所述光电二极管(2)和所述另一光电二极管(3):使得在入射紫外辐射的情况下,来自所述光电二极管(2)的所述电信号大于来自所述另一光电二极管(3)的所述另一电信号,以及–通过所述另一电信号来衰减来自所述光电二极管(2)的所述电信号,从而产生主要测量所述入射紫外辐射的电信号。
地址 奥地利乌恩特普雷姆斯塔特恩