摘要 |
연마 물품은 긴 부재인 기재, 기재에 상도되는 제1 층, 제1 층에 상도되는 연마 입자들, 제1 층과 연마입자들을 연결하는 필릿들, 연마 입자들, 제1 층 및 필릿들에 상도되는 결합층을 포함하고, 필릿들은 연마 분야와 관련된 필릿 특성을 가지고, 필릿 특성은 점착 인자 (t/t), 필릿-대-입자 인자 (t/d), 필릿-대-결합층 인자 (t/t), 접촉 인자 (A/A), 필릿 크기 차이 (V), 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된다. |